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赫爾納供應(yīng)SEMCO退火爐SEMCO 集團(tuán)是應(yīng)用于光伏太陽(yáng)能電池量產(chǎn)的減壓加工的先驅(qū)，并擁有與該技術(shù)相關(guān)的技能。該公司幾年前就開(kāi)始提供當(dāng)前的標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)時(shí)高效光伏和大規(guī)模生產(chǎn)仍是抽象概念。通過(guò)應(yīng)用公司在半導(dǎo)體行業(yè)制定和驗(yàn)證的專有原則，SEMCO 集團(tuán)為當(dāng)今光伏市場(chǎng)中電池制造商的需求鋪平了道路。因此，SEMCO 集團(tuán)不斷創(chuàng)新以滿足客戶需求，專注于改進(jìn)磷和硼發(fā)射極擴(kuò)散、熱 SiOx 和 AlOx 生長(zhǎng)以及 SiNx 沉積。我們的業(yè)務(wù)部門 SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解決方案，可提高太陽(yáng)能電池性能、優(yōu)化生產(chǎn)線吞吐量并降低運(yùn)營(yíng)費(fèi)用。

赫爾納供應(yīng)SEMCO退火爐廠家優(yōu)勢(shì)：

減壓擴(kuò)散間歇式管式爐，使用 POCl3 或 BCl3

應(yīng)用還包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。

減壓氧化間歇式管式爐，濕（去離子水）或干（H2）配置

用于 SiNx 和 AlOx 沉積、鈍化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式爐

用于單面 c-Si 織構(gòu)和拋光的等離子蝕刻間歇式管式爐

從晶圓到組件的垂直集成光伏生產(chǎn)線

對(duì)客戶員工進(jìn)行生產(chǎn)系統(tǒng)操作的培訓(xùn)

生產(chǎn)系統(tǒng) 24/7 運(yùn)行所需的消耗品和備件

工藝和生產(chǎn)階段的優(yōu)化

維護(hù)服務(wù)，包括升級(jí)和翻新設(shè)備。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

JETLIGHT 是 Jipelec 入門級(jí)軟件控制臺(tái)式快速熱退火 (RTA) 系統(tǒng)。JETLIGHT 是一種緊湊而堅(jiān)固的高速熱處理系統(tǒng)，適用于各種材料基板和結(jié)構(gòu)（鋼、玻璃、c-Si 太陽(yáng)能、III-V、II-VI、鍺、超導(dǎo)體）的快速熱退火 (RTA)和陶瓷），最大尺寸為 2 英寸直徑。（50 毫米）。JETLIGHT 的規(guī)格和功能滿足希望在多用戶環(huán)境中啟動(dòng) RTP 的大學(xué)和研究中心的要求。該爐配備了管狀石英反應(yīng)室，因此可以處理最大長(zhǎng)度為 150 毫米的三維樣品。該過(guò)程在大氣壓或真空下（使用或不使用氣體）進(jìn)行。PID 系統(tǒng)可在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的熱控制。?

SEMCO退火爐特征：

熱壁室設(shè)計(jì)。

基板尺寸可達(dá) 50 毫米直徑。和 150 毫米長(zhǎng)。

微處理器控制的晶閘管技術(shù)

最多兩 (2) 條氣體引入線

大氣和真空處理能力。

專用的過(guò)程控制軟件。

SEMCO退火爐應(yīng)用：

植入物和觸點(diǎn)的快速熱退火 (RTA)

快速熱氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)

快速熱擴(kuò)散 (RTD) - 例如旋涂摻雜劑

結(jié)晶、致密化和結(jié)構(gòu)應(yīng)力松弛

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